半導体露光装置のソフトウエア開発で打ち合わせをするキヤノンイメージングシステムズの社員ら＝新潟市中央区
映像機器大手キヤノン（東京）の子会社で、ソフトウエア開発のキヤノンイメージングシステムズ（ＣＩＳ、新潟市中央区）が、半導体露光装置のソフトウエア開発に力を入れている。近年の世界的な半導体需要の拡大に伴い、キヤノンの露光装置の販売台数が伸びており、ラインアップの拡充や顧客の生産性向上に向け、開発を加速させる。
露光装置は、半導体の製造工程で、ウエハーに微細な回路パターンを焼き付ける装置。超精密で巨大なカメラを使い、誤差なくウエハー上の狙った位置に露光する。微細な製品を高速で精度高く製造する精密機器で、半導体工場のクリーンルームで使用される。
ＣＩＳはプリンターやカメラといったキヤノン製品のソフ...
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